Вибрация на холостом ходу

Товарищи помогите пожалуйста, надоела вибрация на холостом ходу, не сказал бы что большая, но всё же есть, а самое главное, что её раньше точно небыло, ну или была, но практически незаметная.
Поменял свечи купил 3 комплекта Motorcraft, Denso, Bosh - не помогло, хотя на BOSH вибрация немного меньше, кстати BOSH медные, остальные платиновые, которые не очень уважаю.
Поменял ВВ провода.
Поменял все фильтры(топливный и воздушный)
Почистил клапан ХХ, датчик расхода воздуха.
Пробовал разный бензин.
Лил очистку инжектора и удалитель влаги из бензобака.
Даже поменял аккумулятор с 80 Ан на 55 Ан, думал что последний будет быстрее заряжаться и тем самым вибрация на ХХ уменьшиться. (кстаи на двигатель 1.8 аккумулятор 80 Ан это не много?)
Может дело в форсунках?
Если не отрегулированы клапана, может быть повышенная вибрация и вообще какие последствия может быть при неотрегулированных клапанах?
А может быть дело в генераторе или в регуляторе напряжения?

P.S. У меня ещё на прогретом двигателе, когда на нетрали или на выжатом сцеплении катишся до светофора примерно на скорости 30 км/ч обороты повышаются до 2000 потом опускаются до нормы, может все мои проблемы в датчике ХХ или ещё что-то, хотя его чистил неоднакратно.

Друзья помогите кто чем может! Буду очень признателен!

вибрация от двигателя, вибрация по салону, опоры двигателя, хх, холостой ход, вибрация